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晶振片應用問題
問: 新晶片是否需要清洗後再安裝?
答:所有Inficon的晶片都在10,000超淨間内生(shēng)産包裝,所以新開(kāi)包的晶片不需清洗
但下(xià)列情況需*清洗後烘幹使用:
1, 安裝過程中(zhōng)晶片掉在桌上或地上
2, 手等接觸到晶片上
3, 開(kāi)包卻長時間放(fàng)置後使用
問:新晶片沒使用壽命就是1-5%
答:1, 基片厚度及電極膜厚厚的原因造成。
2, 此類晶片在普通光學鍍膜中(zhōng)使用壽命不受影響,相反因抗應力能力稍強,晶片更好用
3, 普通光學鍍膜的晶片平均使用壽命一(yī)般《20%
問:速率不穩定的原因?
答:1, 參數設置不當 PID
2, 溫度不穩定
3, 探頭保養不良,接觸電阻不穩
4, 源電子槍的問題
5, 晶片表面污染
6, 鍍膜工(gōng)藝(高應力--高速/低溫)
問:新晶片失效的原因?
答:1, 若重新安裝就恢複或抽空就恢複,說明探頭保養問題或零件需要更換
2, 測量探頭是否短路/斷路
3, 利用主機的自診斷功能---XIU測試可判斷是否主機或震蕩包出現故障
4, 晶片基準頻(pín)率