産(chǎn)品列表PRODUCTS LIST
鍍膜科(kē)技(jì )日新(xīn)月異,對于鍍膜工(gōng)程師來說,如何根據不同的鍍膜工(gōng)藝選擇*的晶振片确實不易。下面建議供大家參考:
1)鍍低應力膜料時,選擇鍍金晶振片
zui常見的鍍膜是鍍Al、Au、Ag、Cu,這些膜層幾乎沒有(yǒu)應力,在室溫下鍍膜即可(kě)。膜層較軟,易劃傷,但不會裂開或對基底産(chǎn)生負作(zuò)用(yòng)。建議使用(yòng)鍍金晶振片用(yòng)于上述鍍膜,經驗證明,可(kě)以在鍍金晶振片鍍60000埃金和50000埃銀的厚度。
2)使用(yòng)鍍銀或銀鋁合金鍍高應力膜層
Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不鏽鋼這些材料容易産(chǎn)生高應力,膜層容易從晶體(tǐ)基片上剝落或裂開,以緻出現速率的突然跳躍或一系列速率的突然不規則正負變動。有(yǒu)時,這些情況可(kě)以容忍,但在一些情況下,會對蒸發源的功率控制有(yǒu)不良作(zuò)用(yòng)。
3)使用(yòng)銀鋁合金晶振片鍍介質(zhì)光學(xué)膜
MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2膜料由于良好的光學(xué)透明區(qū)域或折射率特性,被廣泛用(yòng)于光學(xué)鍍膜,但這些膜料也是zui難監控的,隻有(yǒu)基底溫度大于200度時,這些膜層才會與基底有(yǒu)非常良好的結合力,所以當這些膜料鍍在水冷的基底晶振片上,在膜層凝結過程會産(chǎn)生巨大的應力,容易使晶振片在1000埃以内就回失效。
這時候,選用(yòng)合金晶振片将是的選擇,将大大減少調頻機會。實驗室顯示,使用(yòng)合金晶振片監視氟化鎂,有(yǒu)效壽命比鍍金的長(cháng)100%。如果把冷卻水的溫度從20度提高到50度,晶振片的壽命更可(kě)以再延長(cháng)一倍。